真空冷凍干燥機通常由干燥倉、冷凝器（捕水器）、加熱系統、真空系統、制冷系統、電氣控制系統，六大部件組成。
    干燥倉：集抽真空與加熱干燥功能為一體的密閉容器，物料的升華干燥過程在干燥倉內完成，將物料放在干燥室內擱板上的不銹鋼托盤，每層擱板都有一個可供測量物料溫度的探頭，監測凍干過程中的物料溫度。
    捕水器：是凝結升華水氣的密閉裝置，通常位于干燥倉后部，內部有一個較大面積的金屬吸附面，從干燥倉物料中升華出的水蒸氣可以凝結吸附在金屬表面上，吸附面的工作溫度可達-45℃至-65℃，冷凝器外形是不銹鋼或鐵制成的圓筒，內部盤有冷凝管，分別與制冷機組相連。
    加熱系統：加熱干燥倉內的物料，使物料不斷的受熱升華，達到規定含水率。通常以：接觸式、輻射式加熱。
    真空系統：由真空泵及羅茨真空泵組成，羅茨泵為增壓泵不能單獨使用，先啟用真空泵，工作一段時間后，系統中的真空度＜1Kpa，再自動啟動羅茨泵。真空表可以使用電接點真空表，根據預先選定的真空度值自動控制羅茨泵的啟動。
    制冷系統：由制冷壓縮機組，R22或R404a制冷劑組成，速凍制冷系統和捕水器制冷系統共用一套制冷系統。作業時，接觸加熱方式中擱板溫度可降至-35℃，制冷系統工作時，冷凝盤管的表面溫度可達-35至-65℃，可根據客戶需求采用低溫螺桿式或雙級活塞式制冷壓縮機組，雙級活塞式壓縮機的制冷效果更好，制冷溫度更低。
    電氣控制系統：由PLC、觸摸屏、控制柜、控制儀表、調節儀表等自動裝置和電路組成。手動或自動控制真空冷凍干燥機。
    凍干法則基本在0℃以下（產品凍結的狀態下）進行，解析干燥時，一般≤60℃。
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